光電感測器 雷射感測器
HD-T1 LED型晶圓校準傳感器
使用安全的LED光確保分辨率30μm下的高精度檢測
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 ※1 |
| ※1 | EMC指定適用 |
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特點
無需任何安全措施
使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時必備的保護罩，在美國使用時不需要符合FDA標準。
施工簡便
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使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降至最低限度，維護輕鬆。 |
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低消耗電流70mA以下
檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實現光電傳感器同等的低功耗。
高分辨率30μm
雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實現高精度檢測。
無需光軸調整
投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調整。並且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區域，可對應各種不同尺寸的晶圓。
配備係數和偏移量調整功能
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模擬輸出(1～5V)除了係數調整功能之外，還具備方便的偏移調整功能，可在±0.5V的範圍內轉換模擬電壓。 |
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